扫描电镜（SEM），全称扫描电子显微镜，是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构，广泛地应用于化学、材料、冶金、医学、生物、半导体制造检查等各个研究领域和工业部门。
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